清洁车间由五部分组成：
1隔间
净化工程车间分为更衣室、千层区、百层区、更衣室及千层区、千层区、百层区三部分，均设置有风机，净化工程车间及室外均设置有通道箱。人员进入净化工程车间时，必须先通过风淋，对人员带来的粉尘进行喷淋，削减人员带入净化工程车间的粉尘。分动器对粉尘进行吹扫和喷雾，到达降尘的效果
2空气系统流程图
系统选用新风空调箱+FFU系统。新风空调箱结构FFU：（故障单元），即风机和过滤器
千级区选用高效过滤器，过滤功率99.997%，百级区选用超低浸透过滤器，过滤功率99.9995%。
3水系统流程图
冰水系统分为一次侧和二次侧
一次冰水温度7-12度，送至空调箱和风机盘管；二次冰水温度12-17度，送至干盘管系统。一次冰水和二次冰水是由板式换热器衔接的两条不同的回路。板式换热器原理
干盘管：非冷凝盘管。因为净化工程车间温度为22℃，温度约为12℃，7℃的冰水不能直接进入净化工程车间，因此进入干盘管的冰水温度为12-14℃
4DDC温度：干卷系统操控
湿度：空调箱通过感应信号操控三通阀的开度来调度空调箱线圈的进水量
正压：依据静压感应信号调度空调箱电机变频器的频率，以调度进入房间的新风量
5其他系统
净化工程不仅是空调系统，还有真空、气压、氮气、纯水、废水、二氧化碳系统、工艺排气系统、检测规范：
1 气流速度及其均匀性的检测是净化工程车间其它检测效果的前提。本次检测的意图是承认单向流净化工程车间作业区的均匀风速及其均匀性。
2系统或房间的风量检测。
3室内清洁度检测。清洁度的检测是为了认定在清洁的环境中可以到达的空气清洁度水平。粒子计数器可用于检测。
4 检测自净时刻。通过自净时刻的承认，找出在污染情况下康复洁净室原有清洁度的才能。
5 气流形式检测。
6 噪音检测。
7 照明检测。照度检测的意图是承认洁净室的照度水平和均匀性。
8 振荡检测。振荡检测的意图是承认净化工程车间指示的振荡波动。
9 温度和湿度的检测。温湿度检测的意图是将温湿度调度到必定的极限。其内容包括净化工程车间送风温度检测、代表测点气温检测、净化工程车间中心点气温检测、灵敏元件空气量检测，室内空气相对温度的检测，回风温度的检测。
10 总风量、新风量检测。